| 元素测量范围： | 13号铝元素 到 92号铀元素 |
| X射线管： | 50 W（50kV和1mA）微聚焦钨钯射线管 |
| 探测器： | 190eV及以上分辨率的Si-PIN固态探测器 |
分析层数
及元素数： | 5层（4层+基材） 每层可分析10种元素，成分分析最多可分析25种元素 |
| 滤波器/准直器： | 4主过滤器/单准直器（可选双） |
| 焦距： | 单个固定焦深，激光和自动对焦 |
| 数字脉冲处理： | 4096 多通道数字处理器，自动死时间和逃逸峰校正 |
| 计算机： | 英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位 |
| 相机： | 1/4''（6mm）CMOS-1280×720 VGA分辨率 |
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| 视频放大倍率： | 30X 微型和 7X 数字变焦：标准； 55X 微型：可选 |
| 电源： | 150W，100-240V，频率范围为47Hz至63Hz |
| 重量： | 25kg |
| 马达控制/可编程XY平台 | 不可用 |
| 延伸可编程XY平台： | 不可用 |
| 可选的手动XY样品台 | 桌子尺寸：279毫米（11英寸）x 254毫米（10英寸）行程：38毫米（1.5英寸）x 38毫米（1.5英寸） |
| 样品仓尺寸： | 高度：100mm（4"），宽度：325mm（13"），深度：300mm（12"） |
| 外形尺寸： | 高度：325mm（13"），宽度：350mm（14"），深度：450mm（18"） |
