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M系列

M系列 是用于最小特征的高性能电镀厚度测量的终极产品。 M系列中的多毛细管光学元件比 O系列,将 X 射线束聚焦到 7.5μm FWHM。 为了在该尺度上测量特征,包括具有更高数码变焦的 140 倍放大率相机。 随着放大倍数的增加,视野变得更加受限,因此第二台相机拍摄要测量的零件的宏观图像。 双摄像头系统允许操作员查看整个零件,单击图像以使用高磁力摄像头放大,并精确定位要测量的特征。

高精度可编程XY平台可用于选择和测量多个点; 模式识别软件也可以自动执行该操作。2-D连续扫描功能可查看硅片等部件表面区域的涂层形貌。

标准配置包括15μm光学器件和高分辨率SDD检测器,用于处理更高的计数率。 可编程XY样品台也是标准配置。 光学系统的焦距很近,因此使用M系列测量的样品必须平坦。

现在提供扩展阶段选项

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产品规格




X射线管:50W W 目标 Flex-Beam 毛细管光学器件 @15 FWHM @ 17 KeV
可选:Cr、Mo 或 Rh
探测器:135eV分辨率的硅漂移探测器
分析层数 
及元素数:
5层(4层+基材) 每层可分析10种元素,成分分析最多可分析25种元素
滤波器/准直器:4位置一次滤波器
输出焦深:固定为0.15英寸(3.81毫米)
数字脉冲处理:4096 多通道数字处理器,自动死时间和逃逸峰校正
计算机:英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位
相机:1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,在250毫米(45英寸)屏幕上,双摄像头为381倍,单摄像头为15倍
视频放大倍率:140X 微型、7X 数字变焦、9X 微距和表格视图
电源:150W,100-240V,频率范围为47Hz至63Hz
工作环境:温度介于68°F(20°C)与77°F(25°C)之间,相对湿度小于98%,无冷凝
重量:70kg
可编程XY平台:工作台尺寸:431毫米(17英寸)x 406毫米(16英寸)| 行程:165毫米(6.5英寸)x 165毫米(6.5英寸)高精度
现在可用 扩展 舞台选择
样品仓尺寸:高度:137mm(5.4"),宽度:310mm(12"),深度:340mm(13")
外形尺寸:高度:500mm(20"),宽度:450mm(18"),深度:600mm(24")



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