概要                                                                                                                                                                                             

4～8英寸用晶圆线
(对应晶圆盒)

WAFER LINE是SOI、粘贴晶圆等晶圆检查专用机。
根据您的要求，可以全自动实施机器人的自动搬运、自动测量、自动判定等。
已经积累了多个顾客的量产线连续运行的业绩，得到了很高的评价。

特长、规格                                                                                                                                                                                         

根据您的要求，也可以制作以下规格的装置。

• 半导体前工程的生产线设置用

• 装置内处理室清洁度等级3(ISO)以上(在清洁室组装装置)
  SUS外壳，FOUP对应

• 高速检查

• 电子扫描方式阵列探头规格是同样分辨率的单探头规格。
  相比之下可以高速显示。
  (机械部分的移动很少，也有助于维持清洁度)