概要                                                                                                                                                                                              

像FPD和太阳能电池的溅射靶和陶瓷零件等大型化的材料、零件一样，采用大型扫描仪和大型水槽检查FineSAT系列装置无法应对的大型对象。能够对应的是FS LINE。
除了单探头用的FS LINE之外，还准备了通过同时使用单探头和阵列探头来缩短大型产品的检查时间的FS LINE Hybrid。
另外，作为选项，我们准备了用于检查筒状/圆柱状对象表面的旋转台。关于水槽和扫描仪的尺寸也请随意咨询。

特长、规格                                                                                                                                                                                    

FS LINE通过高精度的测量和基于FineSAT的可用性，也重视安全性。

FS LINE Hybrid用低频区域的阵列探头实现了高阻尼化。因此，可以同时进行目标材料和背板的接合检查和目标材料内部的空洞检查。

FS LINE Hybrid规格(阵列关系)

扫描仪部分有效扫描范围(标准规格)                                                                                                                                             

(单位:mm)

※关于其他扫描范围，请咨询。