概要                                                                                                                                                                                             

通过将因高分辨率和操作性而广受好评的FineSAT与电子扫描方式的ES5100系列组合起来，增加了高速检查功能的混合型装置。

以前为了调查高速检查中发现的异常的详细情况，将被检体转移到其他设备进行重新测定，但是FineSAT Hybrid不需要将被检体移载，1台就可以进行异常分析。
大力支持生产线在短时间内提高产量。
除了标准型之外，还阵容了对应大型样品和多个样品同时测量的长行程宽型。

                                                                                                                                                                                   【宽型】                                           【标准类型】      

特长                                                                                                                                                                                                                                                   

单探头(左)和阵列探头(右)的
同时安装的例子

■Twin Probe

可以同时安装高清晰度测量的单扫描方式的单探头和可以高速测量的电子扫描方式的阵列探头。
单探头/阵列探头的切换，可以从探头选择画面通过鼠标操作进行切换。

■High Speed

使用阵列探头的测量，可以以比单探头测量约3~10倍(*)的速度显示图像。
(*:根据本公司比、测量条件)

■Combination

阵列探头在导入时从25、50、75MHz中进行选择。单探头根据机型不同可以使用5～300MHz的探头。
用阵列探头进行高速测量后，用单探头测量在意的部分，用高清晰度图像进行解析评价等，可以提高业务效率。

主要规格