概要                                                                                                                                                                                                  

以高分辨率著称的FineSAT III为基础，进一步提高了分辨率。
作为高分辨率化的对策，从以前开始就提高了超声波的频率。另一方面，高频化在传播的介质中的衰减变大，S/N比下降的弊端变大，所以检查用途中300MHz左右是实用的最高频率。
在300MHz频率的超声波中，在最佳条件下只能识别5µm前后宽度的线条模式，不能适用于最新LSI封装的TSV、Cu柱等微细结构体的检查。有的。
FineSAT HR是为了超越这种超声波检查装置的极限而开发新的电路，成功提高分辨率的机种。

产品构成