概要                                                                                                                                                                                               

通过缺陷检测图像的高画质化和大型晶圆的一次性检查，提高质量检查的精度。

为了应对近年来缺陷检测图像的高画质化、高精度化以及提高作业效率、生产力的需求，强化了传统机型“FineSAT III”功能的最新机型是“FineSAT7”。
搭载了新自家开发的FPGA内置的AD板*1，将微细化、多层化的半导体器件、电子零件的内部结构和缺陷*2的检测图像高画质化。此外，测量水槽大型化，使用用于检查多层装置等复杂形状的透射法，可以一次性检查直径300mm（12英寸）晶圆，为提高工作效率做出了贡献。

• *1

• AD板：具有将模拟信号转换为数字信号功能的板。

• *2

• 接合处的剥离、空隙(物体中的空气等泡沫状缺陷)和裂缝(材料裂缝状的缺陷)等。

为设备缺陷检测图像的高画质化和300mm晶圆的批量检查做出贡献的超声波影像装置“FineSAT7”

特长                                                                                                                                                                                            

■ 采用自家开发的AD板，将缺陷检测图像高画质化。

使用自家公司开发的FPGA内置的AD板，采样分辨率比以往机提高了16倍，测量周期提高了2倍，使观察高频信号更容易。另外，针对1像素的亮度，使用从周围8处获得的超声波波形加起来平均化的技术*，通过减少电子电路热噪音等引起的随机噪音，使缺陷检测图像高画质化。

■ 通过测量水槽的大型化，实现了使用透射法对直径300mm（12英寸）晶圆的一次性检查。

一直以来，使用透射法对直径300mm晶圆的检查，需要一边移动对象一边进行半面。FineSAT7通过重新评估装置内的机器配置，将测量检查对象的水槽大型化，扩大了包括发送和接收超声波的探针等在内的测量仪器的可动范围，使全层统一检查成为可能。另外，随着测量水槽的大型化，水槽内检查对象的移动和去除导致超声波反射的气泡等作业性也得到了提高。

■ 符合标准SEMI规格中规定的安全规格。

符合电子制造供应链国际工业会SEMI规定的半导体制造装置安全相关规格。

• *

• 超声波影像装置及反射波的降噪方法(专利申请中)

功能

■ 高性能AD板

采用对应400MHz探头的最大8GspsAD板，可以随时收录波形。
另外，通过嵌入独特的逻辑电路，实现了测量显示功能的高度化。

■ 进化的FineSAT7的解析软件

通过采用新的AD板，通过随时波形收录和14bit处理，分析功能充实。*1

实时B范围绘制

回声相位评价(剥离协调)功能的真实性提高(高速化)

通过滤波处理减少噪音以及根据特征频率进行影像化。

通过全方位波形抛光处理来减少噪音，提高画质。

通过镜头回声取消功能，减少有镜头探头的镜头回声。

• 每个多门的增益调整(亮度调整)

• 通过波形核对处理对样品内部结构的高度分析。

■ 最高速度1,200mm/s规格的扫描仪*2 、高速处理PC

通过采用最高速度1,200mm/s扫描仪和高速处理PC，即使在平时的波形收录中，也可以进行与传统机型同等以上的高速测量。

■ 大型水槽

装置外形尺寸保持不变，采用了大型水槽。直径300mm（12英寸）晶圆可以用反射法/透射法一次性测量。

JEDEC托盘的透射法设定了可以去除样品背面气泡的设置区域，提高了作业性。

■ 操作性、维护性

通过在装置前面下方安装电气机器，操作性、维护性会提高。

标准采用23英寸宽显示器。另外，可以选择23英寸双显示器和大型曲面显示器。

• 
  

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                                                                                                                                                                                                                                                        (上)23英寸显示器
                                                                                                                                                                                                                                                        (下)大型曲面显示器
  

• *1

• 也包括今后的开发项目。

• *2

• 公称值

规格                                                                                                                                                                                                    

• ※

• 关于特殊规格请咨询。

• 本产品的超声波输出功率在5W以下，所以不需要安装申报等。

• 也准备了英语语言版的软件

尺寸图 (标准规格)                                                                                                                                                                        

(单位:mm)